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科研成果

一种尺寸在10nm以下的电极间隙的制备方法及其产品和用途

专利名称:

一种尺寸在10nm以下的电极间隙的制备方法及其产品和用途

英文名称:

专利类别:

发明

申请号:

CN202011099220.6

申请日期:

2020-10-14

授权日期:

2024-04-02

专利号:

ZL202011099220.6

第一发明人:

郭北斗

其它发明人:

宫建茹

国外申请日期:

国外申请方式:

专利授权日期:

2024-04-02

缴费情况:

实施情况:

专利证书号:

专利摘要:

其它备注: