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      论文

      Fabrication-resolution enhancement method based on low-energy multiple exposures

      论文编号:
      作者: Lei Wang
      刊物名称: Opt. Express
      所属学科:
      论文题目英文: Fabrication-resolution enhancement method based on low-energy multiple exposures
      年: 2015
      卷: 23
      期: 23
      页: 29353-29359
      联系作者: Qian Liu
      收录类别:
      影响因子:
      参与作者:
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